研磨平臺比刮研平臺精度高，平臺表面鏟刮刀痕被研磨平，平面度誤差小。工作原理是游離的磨粒通過研磨平臺對工件進行微量的切削（包含著物理和化學的綜合作用），修正工件加工表面極微小的誤差。

物理作用：

研磨時，可預先把磨料壓嵌在研磨平臺（簡稱研具）表面，也可在研具或工件表面涂一層研磨劑。由于研具的材料比被研磨的工件軟，研磨劑中的磨粒在研具表面一種半固定或浮動的多刃基體。當研具與工件相對施加壓力作研磨運動時，介于兩者之間的無數磨粒作刮劃、滾動，從而產生微量的切削作用，而每一磨粒都不會在工件表面重復自己的運動軌跡。

化學作用：

當采用氧化鉻、硬脂酸或其他劃線研磨劑對工件進行研磨時，工件的金屬表面會形成一層極薄的氧化膜。氧化膜本身很容易被研磨掉。在研磨過程中氧化膜迅速形成，又不斷的被磨掉，從而加快了研磨過程。